- プロメテウス
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Prometeus -電気特性評価&解析ソフト(研究開発用)-
Prometeusは、半導体の電気特性評価とデータ解析を効率化するカスタマイズ可能なソフトウェア(研究開発用)です。ウェハ、ダイ、トランジスタごとに異なるパラメトリックテストと容量測定が、GUI上の簡単な設定で実施でき、かつ、最適化された特性評価と信頼性試験が一度に実行できます(自動温度可変測定に対応) 。 測定データの多様かつ複雑な解析が、GUI上の簡単な設定で実行できます。
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対応済みプローバ |
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東京エレクトロン、東京精密、エレクトログラス、カスケード・マイクロテック、ベクターセミコン、ズース・マイクロテック、マイクロマニュピレータ社製など |
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対応済み測定器 |
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Agilent-4062(4085、4142B)、4145B、4156A/B/C(SCPI、FLEXコマンド)、E5270A/B、B1500、 4274、4275、4284、4285、4294、E4411、DSO54620、DSO54830B、DSO8000A 、 8110、81110、 E5250、B2200 |
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対応済み温度
コントローラ |
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全フルオートプローバ、全セミオートプローバ
(マニュアルプローバについては担当営業までご確認ください。) |
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メリット1 |
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無償のユーザバージョンによりオフィスでの設定ファイル作成、データ解析ができます。 |
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メリット2 |
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微小電流測定など新測定技術に対応しています。 |
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メリット3 |
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簡単かつ高度な解析環境により、開発期間が短縮化できます。 |
メリット1 :測定バージョンと ユーザバージョンの提供
ウインドウベースの簡単な設定により、複雑かつ自由な、測定/グラフ表示/解析が可能に!

メリット2 :最新測定技術のノウハウ!
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fA微小電流測定用のベースノイスレベル測定とオフセット値設定、最小位相法、2周波法、3素子モデル、4種のチャージポンピング、高速IV測定、など最新測定技術に対応した測定&解析機能 |
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測定経験者による新測定技術のノウハウを搭載 |
メリット3
:解析の時短化によるTAT、人件費の削減!
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GUIによる容易な解析環境 |
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デバイスサイズに依存しない統一化した解析式の定義 |
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デバイスサイズ vs. 解析値、ウェハマップ、ヒストグラム等 |
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解析時間の大幅な短縮化による開発期間や人件費の削減 |
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