株式会社ＰＴソリューションズ（On The Fly・高速IV測定）

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OnTheFly＆高速IV測定　オプション

Prometeus（プロメテウス） -電気特性評価＆解析ソフト（研究開発用）-

　ストレス印加を中断することでストレスが回復してしまうゲート絶縁膜では、On The Fly測定と高速IV測定の組み合わせが有効な信頼性試験（NBTIなど）の１つです。
　　　

OnTheFly測定と高速IV測定との相関を明らかにすることが重要です！！

　OnTheFly測定：ストレス印加電圧の中断無しに信頼性試験を評価します。

　高速IV測定：VG-ID測定を10μsec以下で行い、ストレス印加電圧の中断による回復が無い信頼性試験（高速Vg-IdによるVth抽出）を行います。

　通常のTEGパターンで測定します。（RF用のパターンでなくても評価できます。）

対応済みプローバ	：	東京エレクトロン、東京精密、エレクトログラス、カスケード・マイクロテック、ベクターセミコン、ズース・マイクロテック、マイクロマニュピレータ社製など

対応済み測定器	：	Agilent-4062(4085、4142B)、4145B、4156A/B/C（SCPI、FLEXコマンド）、E5270A/B、B1500、 4274、4275、4284、4285、4294、E4411、8110、81110、DSO54620A、DSO54830B、DSO8000、E5250、B2200